中科芯微智能装备（沈阳）有限公司是素珀电子的控股子公司，成立于2020年。拥有一支年轻、热情、团结又充满活力的，富有责任心和创造力的团队。公司创始团队依托多年来的洁净机械手臂的维修经验，致力于洁净机械手及传送设备的研发。主要业务涵盖了半导体，太阳能，LED，FPD等领域，客户包括中芯国际，长电，华力，华虹， 台积电，华润，华天，新傲，三安光电，华灿光电等公司。